초고순도 밸브(UHP Valve)는 반도체 칩 ALD 공정에 정확한 가스 투여량을 전달하기 위한 고도한 기술의 집합체입니다. 빠르게 발전하는 반도체 산업에서 가장 중요하게 여겨지는 세 가지 요소가 모두 업그레이드 된 차세대 밸브, ALD 20 밸브를 소개합니다.
새로운 ALD 밸브는 성능이나 투여 정확성을 유지하기 위해 엑추에이터를 분리할 필요가 없도록 설계되었기 때문에, 전체 밸브를 200°C(392°F)까지 가열할 수 있습니다.
기존의 밸브가 0.6Cv의 유량 계수를 제공한다면, 새로운 벨로우즈 밸브인 ALD20 밸브는 같은 공간에서 두 배의 유량(1.2Cv)를 제공하여 장비 제조업체가 교체나 그 밖의 공정에 변화를 줄 필요가 없습니다.
Alloy 22와 같은 부식 저항성이 높은 재질로 제공되는 새로운 ALD 밸브는 강한 화학 물질을 사용해도 공식(Pitting corrosion)이나 틈새 부식(Crevice corrosion) 에 대한 걱정을 하지 않으셔도 됩니다.
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