스웨즈락 ALD20 밸브가 반도체 제조 기술의 판도를 바꿀 수 있는 세 가지 이유

2023.09.26

초고순도 밸브(UHP Valve)는 반도체 칩 ALD 공정에 정확한 가스 투여량을 전달하기 위한 고도한 기술의 집합체입니다. 빠르게 발전하는 반도체 산업에서 가장 중요하게 여겨지는 세 가지 요소가 모두 업그레이드 된 차세대 밸브, ALD 20 밸브를 소개합니다.

1. 고온의 엠비언트에서도 견딜 수 있는 바디

새로운 ALD 밸브는 성능이나 투여 정확성을 유지하기 위해 엑추에이터를 분리할 필요가 없도록 설계되었기 때문에, 전체 밸브를 200°C(392°F)까지 가열할 수 있습니다.

2. 같은 공간, 더 높은 유량

기존의 밸브가 0.6Cv의 유량 계수를 제공한다면, 새로운 벨로우즈 밸브인 ALD20 밸브는 같은 공간에서 두 배의 유량(1.2Cv)를 제공하여 장비 제조업체가 교체나 그 밖의 공정에 변화를 줄 필요가 없습니다.

3. 높은 부식 저항성 재질

Alloy 22와 같은 부식 저항성이 높은 재질로 제공되는 새로운 ALD 밸브는 강한 화학 물질을 사용해도 공식(Pitting corrosion)이나 틈새 부식(Crevice corrosion) 에 대한 걱정을 하지 않으셔도 됩니다.

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Engineering Service

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Products

피팅

부식성 환경이나 극한의 온도 또는 고압을 견디는 피팅이 필요할 때 스웨즈락에는 고객이 신뢰할 수 있는 선택 사양이 있습니다. 광범위한 합금 재질의 피팅을 사용하여 신뢰할 수 있는 연결이 가능합니다.

밸브

수많은 애플리케이션에 사용할 수 있고 재질과 압력 등급이 다양하며, 누설이 없고 수명이 긴 스웨즈락 밸브를 소개합니다.

레귤레이터

스웨즈락의 압력 레귤레이터 제품군을 소개합니다. 입구 압력 및 출구 압력을 제어하도록 설계되었으며, 다양한 스타일과 압력 범위를 제공합니다.

호스 및 플렉시블 튜빙

개별 연결구로 구성된 스웨즈락 조립 호스 및 벌크 호스를 소개합니다.

필터

시스템 오염을 제거하기 위해 다양한 엘리먼트 포어(pore) 크기로 제공되는 스웨즈락의 수분-파티클, 인라인, -티형 입자 필터 및 티 타입 입자, 파티클 및 고순도 필터를 소개합니다.

샘플 실린더

스웨즈락의 샘플 실린더를 소개합니다. 스웨즈락의 샘플 실린더는 다양한 스타일과 재질로 구성 가능하며, 크기 10 ~ 3,785 cm³(1 gal), 사용 압력 최대 5,000 psig(344 bar)까지 가능합니다.

용접시스템

사용하기 쉬운 터치스크린 작동 방식과 실시간 모니터링 및 기록 기능을 통해 정밀하게 제어할 수 있는 스웨즈락의 오비탈 용접 시스템을 소개합니다.

누설검사액, 윤활제, 밀폐제

스웨즈락은 누설로 인해 시스템 성능이 저하되기 전에 누설을 찾고 제거하며 예방하는 것을 도와드립니다.

튜브 및 튜빙 액세서리

다양한 애플리케이션에 사용할 수 있는 튜브와 튜브
엑세서리를 확인해보세요.

모듈 시스템

스웨즈락은 공정 유체 분석에 대한 깊이 있는 경험과 지식을 갖추고 있습니다. 당사는 관련 애플리케이션을 위하여 완전히 설계 및 제작된 유체 시스템 조립체, 사전 설계된 서브시스템, 유체 시스템 구성품, 및 문제해결 지원, 설계, 교육서비스 등 다양한 솔루션을 제공합니다.